这里有没有讨论高纯气体的啊
现在半导体行业发展了,需要各种高纯材料,比如硅需要12N的,其它 高纯氢,高纯氮等,就这个话题,大家可以讨论一下啊 这是一个很重大的课题啊。。 是啊,就是由于重大,才希望大家讨论 对于应用在电子行业的高纯气体,是要加纯化器进一步处理才能满足条件的 平常设备出来的气体,通过计量站送到用户那边,用户自己也有终端净化装置,进一步处理才可以用。 纯度是氮气的一个重要技术参数,按国标氮气的纯度分为工业用氮气、纯氮和高纯氮三级,它们的纯度分别为99.5%(O2≤0.5%),99.99%(O2≤0.01%)和99.999%(O2≤0.001%) 高纯不是这个概念。一般总杂质在10ppm以下才可以称之高纯。由于纯度越高,净化工艺越复杂,包括工艺、设备材质、操作方式,分析方法等都有非常高的要求,所以产品价格较高。譬如纯度超过5N的兰氨和纯度超过6N的白氨,目前国内只有一两家可以做,而且规模都很小,其他都是国外大气体供应商在国内兴建的。 PS:楼上的氮气纯度仅为无氧纯度,未考虑其他杂质。 我是搞高纯二氧化碳的。不知道有没有同行。 国内的高纯氮气是蛮多的,但不知各位是否了解超高纯氮气国内是否有厂家可以做?
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