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吸收解析法与吸附法在氯化氢处理方面区别

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ywp
发表于 2015-10-13 14:12:12 显示全部楼层 |阅读模式
混合氢气中有少量HCL,用吸收解析法与吸附法在氯化氢处理方面区别，在处理效果方面哪个更好？
氯化氢

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swasd
发表于 2015-10-13 14:12:12 显示全部楼层
可以参考典型的多晶硅尾气回收工艺，典型的cdi
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