二氧化硅膜料-二氧化硅薄膜应用领域及特性

jsats0523 · 发表于 2020-3-10 13:34:55

SiO2薄膜具有良好的硬度、光学、介电性质及耐磨、抗蚀、机械等特性，在光学、微电子等领域有着广泛的应用前景

SiO2薄膜已经是一种普通应用于各个领域的重要膜层（增透膜、多层膜、保护膜、滤光片…等）。在光学薄膜滤光片中，SiO2 薄膜是很好的一种单层抗反射膜，更是最常用的一种低折射率膜层，用來镀制多层光学薄膜滤光片；在镀膜工艺中，作为金属或者其他材料的表面抗刮和保护层；在半导体技术方面，常用来当作绝缘层的一种材料。

SiO2薄膜其穿透区涵盖0.15μm 至 8μm，具有很小的吸收损耗；和多数不同材料的基板拥有良好的附著性，表面也具有良好的耐刮性；结构稳定，不易与其他材料发生反应，产生变质，具有耐酸性、抗腐蚀的优点。