真空泵的选择

liangbang01 · 发表于 2014-3-28 09:23:46

本帖最后由 liangbang01 于 2014-4-23 13:58 编辑

真空泵的选择
真空泵设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁
真空要求。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

wruchun · 发表于 2014-3-28 09:23:46

谢谢指导，说的有道理。

gd0308 · 发表于 2014-3-28 09:23:46

学习了，有些经验知识真的很难得，谢谢

帅妹mechen · 发表于 2014-3-28 09:23:46

学习了，谢谢

hanpingsiping · 发表于 2014-3-28 09:23:46

学习了，谢谢楼主

chenhaijunsjy · 发表于 2014-3-28 09:23:46

帖子发的比较及时，希望能认真了解一下，

zxz2004 · 发表于 2014-3-28 09:23:46

学习学习。谢谢楼主分享

真空泵的选择

评分